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Edwards iGX100N 半導體干式真空泵  

iGX 干式真空泵系列為大修之間的零維護設定了新標準。提高效率降低了擁有成本,并在整個壓力范圍內提供連續的泵送任務。

iGX 干泵包括以太網連接,允許通過網頁查看關鍵數據,以及一套全面的網絡選項,以確保泵的持續可用性。

iGX 泵提供各種峰值速度和變體,可滿足從清潔到中型工藝的應用。模塊化設計允許用戶配置 iGX 干泵以滿足個別晶圓廠的要求。超緊湊的占地面積允許安裝選項,包括工具上、近距離或遠程。

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iGX 干式真空泵系列為大修之間零維護樹立了新標準。效率提高的同時降低了運行成本,并在整個壓力范圍內保持連續*的泵送能力。

  iGX 干泵包括以太網連接功能,允許通過網頁查看主要數據,另外還包括一套全面的網絡選項,可確保泵持續運轉。英國愛德華iGX100LiGX100N干式真空泵維修
  
iGX 泵的峰值速度范圍很寬,并可以改變以適合各種應用條件,包括從清潔到中等負載的各種工藝。模塊化設計允許用戶對 iGX 干泵進行配置以適合各個工廠的要求。超緊湊的占地面積允許使用包括工具上、近程和遠程在內的多種安裝選項。英國愛德華iGX100LiGX100N干式真空泵維修

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