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CXF-320/3001型磁懸浮分子泵
簡短描述:
電磁軸承又稱“有源磁懸浮軸承”,由磁軸承、傳感器和控制系統組成。本設計具有動態響應及時調整,軸系高速運轉可靠等特點。
磁懸浮分子泵是依靠磁力支撐軸系的泵。
系列磁懸浮分子泵是KYKY公司為滿足現代半導體制造、芯片制造、工業電鍍、科學儀器等領域的應用需求而開發的真空產生設備。